經濟部為了使臺灣半導體結合生成式AI，帶動全產業創新，長期部署「晶創臺灣方案」，全力促成晶圓製造龍頭台積電捐贈工研院三部設備，包括12吋半導體高階製程開發的化學蝕刻、疊對量測與關鍵尺寸量測設備，協助工研院強化國內12吋晶圓製造能量，建立新技術及產品的開發環境。
台積電技術發展及技術研究副總經理曹敏說，台積提供全世界晶圓製造和技術服務，積極投入半導體產業前瞻技術及創新，這次藉由經濟部媒合贈與工研院三套設備，提供臺灣接軌全球實務研發需求。
工研院深耕高階半導體材料、製程、晶片設計、元件封裝，建構半導體上下游產業一條龍開發能量，並以「奈米電子實驗室」提供半導體薄膜、黃光、蝕刻等製程平台，電子與光電系統研究所所長張世杰表示，未來將助攻新創公司及中小企業研發新產品，培育半導體高階人才，讓臺灣在全球科技競爭力更上一層樓。