科技部科學園區審議會第81次會議於7月1日在科技部召開，會中通過奧地利商艾美斯電子束科技有限公司台灣分公司，及富昱晶雷射科技股份有限公司等2案，共計核准投資新臺幣2.92億元。另備查3件廢止投資計畫案及7件增資案，合計增資約231.5億元。

奧地利商艾美斯電子束科技有限公司台灣分公司（設立於新竹科學園區之新竹園區），投資金額0.92億元，主要產品為多電子束光罩寫入設備及技術服務。
母公司IMS Nanofabrication GmbH於1985年設立，總部位於奧地利，為多電子束光罩寫入機的全球技術領導者，客戶來自全球各大晶片製造廠。本案公司持續專注於先進製程EUV光罩圖案化關鍵技術研發，並與客戶合作開發，持續往半導體更先進製程領域布局，並提供關鍵技術及設備支援。
未來進駐園區後，將持續與國內半導體產業鏈合作，協助產能建置及就近提供技術服務，並建立亞洲培訓中心培訓更多研發人才，有助強化我國半導體產業生態系。

富昱晶雷射科技股份有限公司（設立於新竹科學園區之新竹園區）投資金額2億元，主要產品為光子晶體面射型雷射、特殊應用雷射。
是國立陽明交通大學技術轉移之新創公司，也是國內唯一具有「光子晶體面射型雷射」研發、設計及量產製造能力的公司。
光子晶體面射型雷射具有「無劈裂面」、「高功率輸出」、「遠場發散角小」、「高光束品質」與「後端模組整合性強」等優勢，可有效解決目前3D感測雷達光源使用上的瓶頸，提升光學雷達對環境感測辨識度，並提升光學雷達感測距離，在3D感測應用領域極具發展潛力。
未來進駐園區後，可落實政府近年推動5+2產業創新計畫中的「智慧機械」、「國防產業」與「新農業」相關應用，如毒氣感測、物體識別、雷射瞄準、面積估算等新興領域。